Batch type sputtering + plasma polymerization system
Features
「VRSP750AD」は、バッチ式スパッタリング装置としての高い成膜性能と、プラズマ重合による保護膜形成を連続で行える複合システムです。
- ロングライフスパッタ電極を採用し、安定したスパッタリング成膜を実現
- Newly developed plasma process affords high speed deposition, highly durable and waterphilic film in continuous mode
- Power supply of high power realizes both excellent film quality and high speed process
Specifications
| Model | VRSP750AD |
|---|---|
| Substrate size (Including jigs, etc.) | φ600×1,500mm 1 axis |
| スパッタターゲット（例） | アルミ（Al）、チタン（Ti）、クロム（Cr）等 |
| 重合モノマー（例） | HMDSO（ヘキサメチルジシロキサン）等 |
Main use
- Formation of reflective and protective films for automobile lamp reflectors and other automobile interior and exterior parts
- Formation of reflective films for cosmetic containers, mirror parts, etc.
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ShinMaywa INSIGHT
2022年03月09日