技術発表の紹介

当社が発行している「新明和技報」から真空システム製品に関する内容を抜粋しています。

新明和技報

2007年4月発行 「新明和技報 No.29」

2006年4月発行「新明和技報 No.28」

その他バックナンバー

プラズマ重合プロセス成膜装置の開発(1997)

超低温冷却システムの開発(1991発表)

光学多層膜用大形連続真空蒸着システムの開発(1989発表)

-150℃超低温冷却システムの開発