技術情報

技術発表の紹介

当社が発行している「新明和技報」から真空システム製品に関する内容を抜粋しています。

新明和技報

2007年4月発行 「新明和技報 No.29」

論文:大容量超低温冷却装置の開発(P.2~)

2006年4月発行「新明和技報 No.28」

トピックス:自動開閉扉式蒸着重合装置の開発(P.32)

その他バックナンバー

プラズマ重合プロセス成膜装置の開発(1997)

超低温冷却システムの開発(1991発表)

光学多層膜用大形連続真空蒸着システムの開発(1989発表)

-150℃超低温冷却システムの開発

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