リニアイオンソースは、一般的に、高エネルギーのイオンビームを発生させる磁場の形成に強力な永久磁石が使用されています。しかし、金属コーティングの除去等により発生した金属ダストがこの永久磁石に引き付けられ堆積すると、イオンビームが不安定な状態になることから、定期的に金属ダストを除去するメンテナンスが必要でしたが、永久磁石の影響で、イオンソースを構成する部品を簡単に取り外せないといった点が課題となっていました。
現在、日本国内でリニアイオンソースの製造・販売を手掛ける企業はわずかで、主に欧米製が採用されています。高機能フィルムの製造工程の変化により大面積イオンビームによる表面処理のニーズや、超硬工具のコーティング除膜によるリサイクルにおいても被膜範囲の拡大に伴って、大型サイズのイオンビーム源のニーズが高まる中、お客様からは、国内メーカー製のリニアイオンソースを求める声が寄せられていました。

今後は、他の装置メーカーへのリニアイオンソースと電源を組み合わせたコンポーネント販売に注力するとともに、リニアイオンソースを搭載した当社製の大型のイオンエッチング装置を提案していく計画です。

当社では、イオンエッチング装置と共に、耐摩耗性を高めるダイヤモンドコーティング装置などもラインアップしており、真空事業を手掛けるグループ会社の大亜真空株式およびKOREA VACUUM LIMITEDとの連携により、お客様のニーズに沿った、最適な薄膜・表面処理技術を一貫して提供することが可能です。これまで培ってきた真空技術をさらに発展させ、社会のニーズに応える技術創出に努めてまいります。

以上