ダイヤモンドコーティング装置

装置販売 / 受託開発

技術情報

ダイヤモンドコーティングとは

ダイヤモンドは、現存する物質で最も硬い材料として、機械的、電気的、化学的、熱伝導特性において非常に優れた物質です。ダイヤモンドがコーティングとして提供できれば様々な分野で活用できるため、研究開発が進められております。
ダイヤモンドを合成する方法として、高温高圧法、熱フィラメントCVD法、マイクロ波プラズマCVD法などがあり、切削工具の耐摩耗性の向上や、電解電極の耐久性向上など優れた特性により今後も様々な応用が期待されています。

ダイヤモンドコーティング装置について

熱フィラメントCVD法を採用し、大面積にダイヤモンドを合成することが可能で、切削工具へのコーティングなど量産品への適用が可能です。
独自技術により密着性を最適化し、導電性ダイヤモンドコーティングにも対応しております。装置販売および受託コーティングもお請けいたします。
また、当社イオンエッチング技術を生かし、除膜～再コートといったリサイクル提案も可能です。

アプリケーション

切削工具：CFRP加工、グラファイト加工、アルミ合金加工
金型
シール部品
電解電極
- ※新規用途開発についてご相談ください。

装置仕様

方式	熱フィラメントCVD
装置寸法	L 2,480 x W 1,320 x H 2,240
チャンバ寸法	L 620 x W 600 x H 500
搭載可能サイズ	工具：⌀0.5 - ⌀20 L200
搭載可能サイズ	平板：⌀250 t30
基板材質	超硬・セラミックス・耐熱金属
コーティング長	50mm
電源	3相 200V 50kVA A種接地
冷却水	25L/min
ガス系統	CH₄、H₂、N₂他ポート追加可能
装置質量	2,000 kg

※ダイヤモンド成膜時の温度は、800-900℃になります。
そのため、成膜可能な基材は耐熱性のあるものに限定されます。
超硬素材に成膜する場合、脱コバルトの前処理が必要です。
結晶サイズは、アプリケーションごとに、微粒～中粒サイズに対応致します。
お客様の要望や対象物、生産性を考慮し、最適な装置をご提案させていただきます。

マイクロ波プラズマCVD装置もご提案可能です。

大亜真空株式会社（当社グループ）