Diamond Coating System

System sales / Contract development

Technical Information

What is Diamond Coating System?

ダイヤモンドは、現存する物質で最も硬い材料として、機械的、電気的、化学的、熱伝導特性において非常に優れた物質です。この優れた特性のコーティングが活用できれば、様々な分野で応用が可能であり、研究開発が進められております。
ダイヤモンドを合成する方法として、高温高圧法、熱フィラメントCVD法、マイクロ波プラズマCVD法などがあり、切削工具、金型、人工宝飾、電解電極、半導体デバイス、放熱基板、量子センサなど、今後も様々な応用が期待されています。

ShinMaywa’s Diamond Coating System

当社は熱フィラメントCVD法を採用し、φ300ウエハなど大面積にダイヤモンドを合成することが可能です。
超硬切削工具へのコーティングなど量産品への適用も可能です。
独自技術により密着性を最適化し、超硬素材だけでなくセラミックス、耐熱金属など様々な材質にもコーティング可能です。
プロセスを調節することで、粗粒～微粒の粒径のサイズ調整も可能です。
導電性ダイヤモンド被膜形成にも対応しております。
装置販売および受託開発もお請けいたします。
当社イオンエッチング技術を生かし、除膜～再成膜といったリサイクル提案も可能です。
ダイヤモンド成膜後の研磨技術の提案も可能です。

Microcystalline diamond coating — 粗粒ダイヤモンドコーティング

Application

切削工具

Improved wear resistance

<用途>
超硬工具（ドリル、エンドミル、インサートなど）
CFRP加工、グラファイト加工、アルミ合金加工

デバイス

次世代デバイスに向けた性能向上

<用途>
パワー半導体、通信基板、放熱基板

金　　型

DLC以上の長寿命化

<用途>
絞り型、かしめパンチ

Seal component

摺動面（SiC、超硬）の耐久性向上

<用途>
メカニカルシール

電解電極

CO₂還元、オゾン水生成

<用途>
電解用ダイヤモンド電極

新規用途開発でご検討される場合は、下記問合せフォームよりご相談ください。

System specifications

	ダイヤモンドコーティング装置　SDC300	小型ダイヤモンドコーティング装置　SDC100
System/Method	Hot Filament CVD
Device dimensions (mm)	L2,480×W1,320×H2,240	L950×W2,300×H1,830
Chamber Dimensions (mm)	L620×W600×H500	Lφ440×H470
Can be installed Size (mm)	工具：φ0.5 - φ20 L200 平板：φ300 t30	Rod shape: φ0.5 - φ20 L100 Flat plate: L100 x W150 x H30
Substrate material	超硬（WC-Co）、シリコン（Si）、セラミックス（SiC）、耐熱金属（Nb）など
Coating length (mm)	50	10
Power supply	3 phase 200V 50kVA A type ground connection	3 phase 200V 20kVA class A grounding
Coolant	25L/min
Gas	CH4, H2, N2 and other ports can be added
Weight	2,000kg	1,200kg

The small dedicated machine SDC100 can also be modified to fit special shapes such as molds.

※ダイヤモンド成膜時の温度は、800-900℃になります。そのため、成膜可能な基材は耐熱性のあるものに限定されます。
超硬素材に成膜する場合、脱コバルトの前処理が必要です。
結晶サイズは、アプリケーションごとに、微粒～粗粒サイズに対応致します。
お客様の要望や対象物、生産性を考慮し、最適な装置をご提案させていただきます。

We can also propose microwave plasma CVD equipment.

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マイクロ波プラズマCVD装置

DIAVAC Limited (Our Group Company)