大きな可能性

大きな可能性を秘めた、中空部に夢を組込める偏平、大口径の中空構造

ロータ中空径はφ7.4(B03)~φ380(B57)まで豊富に揃えています。

ボールネジ駆動用モータ

ロータ中空内にボールネジを組込んだ

ボールネジ駆動用モータ

ウエハ検査用スピンドルモータ

ロータ中空を真空吸引する

ウエハ検査用スピンドルモータ

高真空用フレームレスモータ

高真空中での使用を考えた低リーク量

高真空用フレームレスモータ

大中空エアスピンドル

大中空エアスピンドル

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