エアスピンドルユニット

SPM30

業界トップクラスを誇る低NRRO(非繰返し回転振れ精度)を達成

エアスピンドル[SPM30型]

特長

  • 高速回転時(20,000min-1)のアンバランスを軽減し、低振動化を実現
    アンバランス量0.05gmm以下
  • 高速(20,000min-1) ~ 低速においてNRRO 2nm以下(弊社測定基準による)を維持
  • 高速大トルクのビルトイン型モータ(自社開発)を内蔵し、回転速度20,000min-1までスムーズな立ち上がりを実現
    また、回転むら精度0.001%以下の安定した回転を実現
  • ノンスイッチング ドライバとの組み合わせで、電磁ノイズを嫌うディスク検査装置において威力を発揮
  • ターンテーブル部のクリーン度性能は、クリーンルーム内での使用が可能なクラス10を実現
  • 使用する環境に応じて、高温仕様、あるいは低温仕様等、個別対応が可能

主要寸法図

(単位:mm)

エアスピンドル [SPM30型] 主要寸法図

仕様

型式 SPM30
使用給気圧力 0.5MPa(G)
最高回転速度 20,000r/min
回転速度変動※1 0.001%以下(エンコーダZ相ジッタ)
非繰返し回転振れ精度
(NRRO)
ラジアル 0.002μm以下
アキシアル 0.002μm以下
繰返し回転振れ精度
(TIR)
ラジアル 1μm以下
アキシアル 1μm以下
剛性 ラジアル 12N/μm以上
アキシアル 45N/μm以上
負荷容量 ラジアル 40N以上
アキシアル 110N以上
消費空気流量 15Nl/min以下
モータ容量 60W(20,000r/min時)
クリーン度 クラス10(0.1μm)
アンバランス量 0.05gmm以下
質量 2.7kg
  • 当社ノンスイッチング ドライバNS20-Aとの組合せによる性能

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新たな駆動系アプリケーションに、新明和の「BUILT-IN DDシリーズ」を、ぜひご検討ください。