SPM30
業界トップクラスを誇る低NRRO(非繰返し回転振れ精度)を達成
![エアスピンドル[SPM30型]](/products/dd-motor/introduction/spindle/img/spm30_im01.gif)
特長
- 高速回転時（20,000min-1）のアンバランスを軽減し、低振動化を実現
アンバランス量0.05gmm以下 - 高速（20,000min-1） ～ 低速においてNRRO 2nm以下（当社測定基準による）を維持
- 高速大トルクのビルトイン型モータ（自社開発）を内蔵し、回転速度20,000min-1までスムーズな立ち上がりを実現
また、回転むら精度0.001％以下の安定した回転を実現 - ノンスイッチング ドライバとの組み合わせで、電磁ノイズを嫌うディスク検査装置において威力を発揮
- ターンテーブル部のクリーン度性能は、クリーンルーム内での使用が可能なクラス10を実現
- 使用する環境に応じて、高温仕様、あるいは低温仕様等、個別対応が可能
主要寸法図
![エアスピンドル [SPM30型] 主要寸法図](/products/dd-motor/introduction/spindle/img/spm30_im02.gif)
仕様
| 型式 | SPM30 | |
|---|---|---|
| 使用給気圧力 | 0.5MPa（G） | |
| 最高回転速度 | 20,000r/min | |
| 回転速度変動※1 | 0.001％以下（エンコーダZ相ジッタ） | |
| 非繰返し回転振れ精度 （NRRO） |
ラジアル | 0.002μm以下 |
| アキシアル | 0.002μm以下 | |
| 繰返し回転振れ精度 （TIR） |
ラジアル | 1μm以下 |
| アキシアル | 1μm以下 | |
| 剛性 | ラジアル | 12N/μm以上 |
| アキシアル | 45N/μm以上 | |
| 負荷容量 | ラジアル | 40N以上 |
| アキシアル | 110N以上 | |
| 消費空気流量 | 15Nl/min以下 | |
| モータ容量 | 60W（20,000r/min時） | |
| クリーン度 | クラス10（0.1μm） | |
| アンバランス量 | 0.05gmm以下 | |
| 質量 | 2.7kg | |
- ※1当社ノンスイッチング ドライバNS20-Aとの組合せによる性能
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