エアスピンドルユニット

SPM30C(クラッシュプルーフ付)

製品データ
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業界トップクラスの低NRRO(非繰返し回転振れ精度)に高精度スロットレスモータと新機能クラッシュプルーフをプラス!

従来のSPM30にクラッシュ防止機能「クラッシュプルーフ」と更なる回転速度の向上を目指し、「スロットレスモータ」を搭載したエアスピンドルを開発しました。
ハードディスク検査装置、ウエハ検査装置、DVD検査装置の性能向上に、より使いやすく、より高性能な新明和のエアスピンドルが活躍いたします。

エアスピンドル[SPM30C型]

特長

  • スロットレスモータ搭載
  • クラッシュプルーフ対応
  • 高速(20,000r/min) ~ 低速においてNRRO 2nm以下
    (弊社測定基準による)を維持
  • 高速回転時のアンバランスを軽減し、低振動を実現
    アンバランス量0.05gmm以下

主要寸法図

(単位:mm)

エアスピンドル [SPM30C型] 主要寸法図

仕様

型式 SPM30C
使用給気圧力 0.5MPa(G)
最高回転速度 20,000r/min
回転速度変動※1 0.002%以下(エンコーダZ相ジッタ)
非繰返し回転振れ精度
(NRRO)
ラジアル 0.003μm以下
アキシアル 0.003μm以下
繰返し回転振れ精度
(TIR)
ラジアル 1μm以下
アキシアル 1μm以下
剛性 ラジアル 12N/μm以上
アキシアル 30N/μm以上
負荷容量 ラジアル 30N以上
アキシアル 90N以上
消費空気流量 6Nl/min以下
モータ容量 60W(20,000r/min時)
クリーン度 クラス10(0.1μm)
アンバランス量 0.08gmm以下
質量 2.7kg
  • 当社ノンスイッチングドライバNS20-Aとの組合せによる性能

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新たな駆動系アプリケーションに、新明和の「BUILT-IN DDシリーズ」を、ぜひご検討ください。