SPM30C（クラッシュプルーフ付）
業界トップクラスの低NRRO(非繰返し回転振れ精度)に高精度スロットレスモータと新機能クラッシュプルーフをプラス！
従来のSPM30にクラッシュ防止機能「クラッシュプルーフ」と更なる回転速度の向上を目指し、「スロットレスモータ」を搭載したエアスピンドルを開発しました。
ハードディスク検査装置、ウエハ検査装置、ＤＶＤ検査装置の性能向上に、より使いやすく、より高性能な新明和のエアスピンドルが活躍いたします。
![エアスピンドル[SPM30C型]](/products/dd-motor/introduction/spindle/img/spm30cim01.gif)
特長
- スロットレスモータ搭載
- クラッシュプルーフ対応
- 高速（20,000r/min） ～ 低速においてNRRO 2nm以下
（当社測定基準による）を維持 - 高速回転時のアンバランスを軽減し、低振動を実現
アンバランス量0.05gmm以下
主要寸法図
![エアスピンドル [SPM30C型] 主要寸法図](/products/dd-motor/introduction/spindle/img/spm30cim02.gif)
仕様
| 型式 | SPM30C | |
|---|---|---|
| 使用給気圧力 | 0.5MPa（G） | |
| 最高回転速度 | 20,000r/min | |
| 回転速度変動※1 | 0.002％以下（エンコーダZ相ジッタ） | |
| 非繰返し回転振れ精度 （NRRO） |
ラジアル | 0.003μm以下 |
| アキシアル | 0.003μm以下 | |
| 繰返し回転振れ精度 （TIR） |
ラジアル | 1μm以下 |
| アキシアル | 1μm以下 | |
| 剛性 | ラジアル | 12N/μm以上 |
| アキシアル | 30N/μm以上 | |
| 負荷容量 | ラジアル | 30N以上 |
| アキシアル | 90N以上 | |
| 消費空気流量 | 6Nl/min以下 | |
| モータ容量 | 60W（20,000r/min時） | |
| クリーン度 | クラス10（0.1μm） | |
| アンバランス量 | 0.08gmm以下 | |
| 質量 | 2.7kg | |
- ※1当社ノンスイッチングドライバNS20-Aとの組合せによる性能
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