スパッタ+重合を1バッチで成膜可能なバッチ式装置。実験・開発・少量生産が可能。ワイドターゲットを採用して膜厚分布を向上。

チャンバからの搬出/搬入、大気側搬送も自動化。コールドトラップ+マイスナーコイルを搭載してタクトタイム短縮を実現。

蒸着材料の自動給材機構や大気側搬送システムを搭載。完全自動化を可能にした装飾膜分野向け装置。

光学分野向け装置。独自の方式により低温成膜が可能で、樹脂への多層膜の成膜が可能。

光学分野向け装置。給材機構を新規で開発して安定した連続稼働を実現。

ロードロック室とプロセス別の3つのチャンバで構成。前処理からスパッタ、重合まで連続的に成膜可能な装置。

帯域フィルタ、エッジフィルタ、 IRカットフィルタ、ARコーティング等のシフトレス光学膜を大面積に均一に生産可能なイオンビームアシスト式蒸着装置。

水素を含有しない水素フリーDLCで高硬度、高密着性の成膜が可能。低温成膜が可能なため変寸を気にする部品にも対応可能。

オゾン破壊係数が0の冷媒のみを使用した国内初の超低温冷却装置。他社製に比べて省エネを可能にし、排気時間の短縮に貢献。

※2024年に生産終了

インライン式装置のチャンバ間仕切りに使用。独自開発を行い長寿命を実現。

これまで当社が培ってきたロボット関連製品の技術を集結。サーボコントロール、耐ノイズ性向上などが搭載された高機能な搬送用ロボット。

当社の全自動蒸着制御システムと組み合わせることで高精度な蒸着制御が可能。可視域から近赤外域、可視域から紫外域までの任意の波長の光量を高精度に測定可能。

※2014年に生産終了