次世代太陽電池向けインライン式蒸着/スパッタ装置
次世代太陽電池の量産化に向けた成膜ソリューション
ペロブスカイト太陽電池をはじめとする次世代太陽電池やタンデム太陽電池は、研究開発（R&D）段階から大型化・量産化へと進展しており、
高効率太陽電池の実現に向けた成膜技術が求められています。
私たちは、長年培ってきた大型真空装置と真空搬送技術を活かして、研究用基板からメートル級の大型基板まで対応可能な太陽電池成膜装置をご提案し、発電効率向上に貢献します。
蒸着とスパッタの複合プロセスにより、有機材料層・無機材料層・透明導電膜・電極形成まで対応し、量産化課題の解決を支援します。
特長
インライン式やクラスター式などの基本コンセプトをベースに、お客様の成膜プロセスに合わせた柔軟なカスタマイズ設計に対応いたします。
研究開発用途の小型サイズから、量産を見据えた薄膜太陽電池やフレキシブル太陽電池向け大型基板・シートへの連続搬送成膜までサポートします。
蒸着＋スパッタの複合プロセスにより、ペロブスカイト層や有機層に加え、ITOやAZOなどの透明導電膜形成に対応します。
熱やプラズマに弱い有機層・ペロブスカイト層への成膜ダメージを最小限に抑え、高効率太陽電池の実現を支援します。
量産において重要な「稼働率」を最大化します。成膜源は1～2週間の連続稼働が可能な設計となっており、メンテナンスによるダウンタイムを極小化します。また、スパッタリングターゲット（ITO、AZO、酸化亜鉛、酸化チタンなど）の材料利用効率を高め、ランニングコスト削減に貢献します。
次世代太陽電池や有機デバイスの製造では、大気中の水分や酸素が製品劣化の大きな要因となります。本装置は窒素雰囲気下でのロード/アンロード機構を備えており、大気暴露を防止することで製品の劣化を抑制します。
スペック・技術要素
| 装置構成 | バッチ式、インライン式、クラスター式 | |||
|---|---|---|---|---|
| 対応基板 | 研究開発用小型基板～メートル級大型基板 | |||
| 成膜手法 | 蒸着(抵抗加熱、Kセル、多点同時蒸着)、スパッタ(DC,DCパルス、RF) | |||
| キーテクノロジー | 低ダメージスパッタリング、高効率ターゲット使用 | |||
| 搬送・環境 | 窒素雰囲気L/UL、大気側搬送機構 | |||
※上記構成は、お客様の要求に応じて詳細および仕様は変更可能。
今後期待される用途
- 車載太陽電池や軽量太陽電池への適用が期待され、EV向け発電デバイス開発にも貢献。
- BIPV（建材一体型太陽電池）や建材一体型太陽電池など、建築物と一体化した発電システムへの活用
- フレキシブル太陽電池や発電フィルム向け量産設備としての活用
- 銀ナノワイヤを用いた透明電極や次世代電極材料の量産プロセスへの適用
- ウェアラブル電源向けの超軽量発電デバイス製造への応用
- 農業用太陽電池向けの大面積フィルム成膜プロセスへの展開
- タンデム太陽電池の中間層や透明導電膜形成工程での活用
- ペロブスカイト太陽電池とシリコン太陽電池を組み合わせた高効率太陽電池の量産化ソリューションとしての活用
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