イオンエッチング装置に搭載している丸型イオンソースを改良し、大面積に照射できるように長尺化しました。
幅広フィルム製造の前処理や大型ワークのエッチングが可能になります。

従来のLISの構造は、中央部に強力な永久磁石を配置し、磁場を形成する方式でした。
メンテナンスにより部品脱着をする際には、強力な永久磁石により部品脱着が困難でメンテナンスの不安がありましたが、独自の電磁コイル方式にすることにより、OFF状態では磁場が発生しないため、部品の脱着が容易になるとともに、磁気吸着によるコンタミを抑制します。これにより長時間運転も可能になりメンテナンス性も向上します。