主な内容は以下の通りです。
・自動車ランプやミラーなどの反射膜（蒸着・スパッタ）
・化粧品容器、自動車内外装部品などの装飾膜（蒸着・スパッタ）
・プラズマ処理による前処理や保護膜形成
・切削工具や金型のダイヤモンドコーティング、除膜、先鋭化、窒化処理
・ミクロトーム替刃、注射針、縫合針、カミソリ刃の表面処理
その他製品向けも納入実績としてありますので、詳細はお問い合わせください。

電気、冷却水、圧縮空気、各種ガス、排気ダクトの準備が必要です。容量は装置仕様によりますので、フォームよりお問い合わせください。

対応可能です。詳細はお問い合わせください。

蒸着、スパッタ、重合、ダイヤモンドコーティング、イオンエッチング、プラズマ処理、熱処理、真空乾燥、アーク溶解、ガス精製のデモ機でのサンプル作成が可能です。また、各種分析機器がございます。詳細はフォームよりお問い合わせください。

日常メンテナンスと定期メンテナンスがあります。使用する機器によって内容・メンテナンス期間が変わりますので、詳細は取扱説明書を参照してください。また、シール部品につきましては使用環境にもよりますが1年に1回の交換を推奨します。

使用するポンプや稼働状況にもよりますが、1～3か月程度で交換が必要です。

保管環境やメーカー、材質によっても異なりますので、詳細は取扱説明書をご確認ください。長期間保管するとベースオイルが分離するのでよく撹拌してから使用してください。

2週間に1回程度を想定しています。（作業環境や生産頻度により変更してください）。清掃を行わない場合、排気時間が延びるだけでなく、成膜不良が発生する可能性がありますので、定期的な清掃が必要になります。

・配管からリークしている可能性があります。
　→リークチェックを実施してリーク箇所の修理をお願いします。
・ロータリーポンプのオイルが汚れている可能性があります。
　→オイル交換をお願いします。
・コールドトラップ再生時の水分がロータリーポンプのオイル中に残留している可能性があります。
　→ロータリーポンプのガスバラストバルブを開き30分程度運転してください。症状が改善しない場合はオイル交換を行ってください。

・チャンバからリークしている可能性があります。
　→リークチェックを実施してリーク箇所の修理をお願いします。
・防着板（シールド）の汚れが蓄積している可能性があります。
　→防着板（シールド）の清掃をお願いします。
・ペニング真空測定子が汚れている可能性があります。
　→ペニング真空測定子の清掃または交換をお願いします。

・配管からリークしている可能性があります。
　→リークチェックを実施してリーク箇所の修理をお願いします。
・コールドトラップ再生時の水分が油拡散ポンプやロータリーポンプのオイル中に残留している可能性があります。
　→ロータリーポンプのガスバラストバルブを開き数十分運転してください。症状が改善しない場合はオイル交換を行ってください。

・バルブシリンダのセンサが故障している可能性があります。
　→センサが点灯しているか確認してください。点灯していない場合、センサの位置調整をお願いします。それでも改善しない場合は、センサ本体の交換をお願いします。
・バルブシリンダのエアー用電磁弁が故障している可能性があります。
　→電磁弁の開閉が問題ないか確認をお願いします。それでも改善してい場合は、電磁弁の交換をお願いします。

・一次側ユーティリティが故障または流量が変動している可能性があります。
　→一次側ユーティリティの確認やバルブの開閉量の再調整を行ってください。
・流量計が汚れにより閉塞または本体が故障している可能性があります。
　→流量計の清掃をお願いします。それでも改善しない場合は流量計の交換をお願いします。

・プラズマ重合膜がルーツポンプに吸い込まれて内部に堆積している可能性があります。
　→ルーツポンプ内部の清掃、またはオーバーホールをお願いします。

・粗引き排気から本引き排気への切り替え中に圧力が上昇し、規定圧力以上なりました。
　→バルブシャフトシール部のリークチェックを行い、リークしている場合はグリース充填またはシール部の交換をお願いします。
　　または、防着板も含めたチャンバ内の清掃をお願いします。

・RFプラズマ電極が汚れにより絶縁不良を起こしている可能性があります。
　→電極の清掃をお願いします。
・マッチングボックスが故障している可能性があります。
　→マッチングボックスの修理をお願いします。
・RF電源が故障している可能性があります。
　→電源の修理をお願いします。

・RFプラズマ電極が汚れにより絶縁不良を起こしている可能性があります。
　→電極およびチャンバ内の清掃をお願いします。

・マッチングボックスのカバーが外れている可能性があります。
　→確認して空いている場合は、取付をお願いします。
・マッチングボックスのファンが止まっている可能性があります。
　→ファンの修理をお願いします。
・マッチングボックス本体の電源がOFFになっている可能性があります。
　→確認してOFFの場合は、ONにしてください。

・電気機器が故障している可能性もあります。
　→電源を入れ直しても復旧しない場合は、お問い合わせください。

・冷媒漏れの可能性があります。
　→現状の圧力および各種温度、冷凍機停止から24時間程度経過後の圧力（バランス圧力）と温度の確認をお願いします。

・冷媒漏れの可能性があります。
　→現状の圧力および各種温度、冷凍機停止から24時間程度経過後の圧力（バランス圧力）と温度の確認をお願いします。

・高圧側圧力スイッチの経年変化によって誤検知している可能性があります。
　→冷凍機本体を停止後、当社にお問い合わせください。

・冷凍機本体のコンプレッサが故障している可能性があります。
　→冷凍機本体を停止後、当社にお問い合わせください。