5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム
特長
5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム「VRX350」は、前処理から成膜、プラズマ重合までを全自動で行う、量産に最適な連続処理型のスパッタリング装置です。
- RFプラズマによる前処理、DCスパッタ、RFプラズマ重合の連続処理を1分タクトで実現
- 専用循環コンベアを装着し、前後の工程と連携した全自動のスパッタリング成膜ラインを構築
主な用途
- 自動車ランプリフレクタ、その他自動車内外装部品の反射膜および保護膜の形成
- 化粧品容器、ミラー部品等の反射膜形成
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