バッチ式スパッタ+プラズマ重合装置
特長
「VRSP750AD」は、バッチ式スパッタリング装置としての高い成膜性能と、プラズマ重合による保護膜形成を連続で行える複合システムです。
- ロングライフスパッタ電極を採用し、安定したスパッタリング成膜を実現
- 新開発のプラズマ重合方式により、高速重合と耐食性、親水性の連続成膜が可能
- ハイパワースパッタ電源の採用により品質とスピードを高次元で両立
仕様
| 型式 | VRSP750AD |
|---|---|
| 有効エリア | φ600×1,500mm 1軸 |
| スパッタターゲット（例） | アルミ（Al）、チタン（Ti）、クロム（Cr）等 |
| 重合モノマー（例） | HMDSO（ヘキサメチルジシロキサン）等 |
主な用途
- 自動車ランプリフレクタ、その他自動車内外装部品の反射膜および保護膜の形成
- 化粧品容器、ミラー部品等の反射膜形成
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