5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム
特長
5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム「VRXシリーズ」は、前処理から成膜、プラズマ重合までを全自動で行う量産対応のインラインスパッタシステムです。
- RFプラズマによる前処理、DCマグネトロンスパッタ、RFプラズマ重合の連続処理を1分タクトで実現し、高均一成膜による品質安定化と歩留まり向上に貢献
- 専用循環コンベアを装着し、前後の工程と連携した全自動のスパッタリング成膜ラインを構築
- SiO2、TiO2、Al2O3などの無機膜を活用した多層成膜プロセスに対応し、機能性膜の形成が可能
- ITOやAZOなどの透明導電膜形成にも応用可能で、多様な機能性デバイス開発を支援
- Ag成膜を含む多層構造設計により、高反射膜や機能性コーティングの形成へ対応可能
主な用途
- 自動車ランプリフレクタ向け反射膜形成、透明導電膜形成、表面保護膜形成。
- 化粧品容器やミラー部品への高均一成膜による反射膜形成および防汚コーティング。
今後期待される用途
- ITO成膜、光学膜スパッタ、電極膜成膜、絶縁膜成膜、セラミック膜成膜、圧電膜成膜などの機能性薄膜形成分野。
- 研究開発用途として、イットリア（Y₂O₃）、イットリウム系材料、各種反応性スパッタプロセスによる先端材料開発への適用。
- 車載ディスプレイや次世代モビリティ向けHUD部材の量産プロセスへの活用。
- LiDAR向け光学部品や各種センサーデバイス用機能膜形成への展開。
- 太陽電池電極形成や透明導電膜形成工程への展開。
- 大面積成膜技術を活用し、自動車・建材・家電向け大型部材への量産適用。
- 多層成膜技術の活用で、高機能光学フィルターや反射防止膜などの付加価値製品への展開。
- 透明導電膜形成技術を活用し、有機EL(OLED)ディスプレイやセンサーデバイス向け機能性薄膜への応用。
- 真空成膜装置として培ったプロセス技術により、高性能PVD装置を用いた次世代電子デバイス製造への貢献。
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