SPM30
業界トップクラスを誇る低NRRO(非繰返し回転振れ精度)を達成
特長
- 高速回転時(20,000min-1)のアンバランスを軽減し、低振動化を実現
アンバランス量0.05gmm以下 - 高速(20,000min-1) ~ 低速においてNRRO 2nm以下(当社測定基準による)を維持
- 高速大トルクのビルトイン型モータ(自社開発)を内蔵し、回転速度20,000min-1までスムーズな立ち上がりを実現
また、回転むら精度0.001%以下の安定した回転を実現 - ノンスイッチング ドライバとの組み合わせで、電磁ノイズを嫌うディスク検査装置において威力を発揮
- ターンテーブル部のクリーン度性能は、クリーンルーム内での使用が可能なクラス10を実現
- 使用する環境に応じて、高温仕様、あるいは低温仕様等、個別対応が可能
主要寸法図
仕様
型式 | SPM30 | |
---|---|---|
使用給気圧力 | 0.5MPa(G) | |
最高回転速度 | 20,000r/min | |
回転速度変動※1 | 0.001%以下(エンコーダZ相ジッタ) | |
非繰返し回転振れ精度 (NRRO) |
ラジアル | 0.002μm以下 |
アキシアル | 0.002μm以下 | |
繰返し回転振れ精度 (TIR) |
ラジアル | 1μm以下 |
アキシアル | 1μm以下 | |
剛性 | ラジアル | 12N/μm以上 |
アキシアル | 45N/μm以上 | |
負荷容量 | ラジアル | 40N以上 |
アキシアル | 110N以上 | |
消費空気流量 | 15Nl/min以下 | |
モータ容量 | 60W(20,000r/min時) | |
クリーン度 | クラス10(0.1μm) | |
アンバランス量 | 0.05gmm以下 | |
質量 | 2.7kg |
- ※1当社ノンスイッチング ドライバNS20-Aとの組合せによる性能
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