リニアイオンソース（LIS）は、従来の丸型イオンソースを改良した線状イオンソース（ブロードビームイオンソース）です。
大面積へ均一照射が可能なイオンビーム源として長尺化を実現しています。
幅広フィルム製造における成膜前処理や基板前処理、大型ワークへのイオンビーム前処理、表面クリーニング、表面活性化処理に対応します。
イオンアシスト成膜の前工程として利用することで、密着性向上や成膜品質向上に貢献します。
大面積イオン処理が可能なため、フィルムや大型基板への均一な前処理・表面改質用途に適しています。

従来のイオンソースでは永久磁石方式を採用していました。
メンテナンスにより部品脱着をする際には、強力な永久磁石により部品脱着が困難でメンテナンスの不安がありましたが、
独自の電磁コイル方式を採用することで、メンテナンス性向上に加え、磁気吸着によるコンタミを抑制し、安定したイオン処理環境を実現します。
長時間運転に対応するとともに、高スループットなインライン工程への適用も期待できます。