次世代太陽電池向けインライン式蒸着/スパッタ装置
装置販売 / 受託開発
特殊プロセス対応のオーダーメイド設計
次世代太陽電池の量産化に向けた成膜ソリューション
次世代太陽電池（ペロブスカイト太陽電池など）の開発は、研究開発（R&D）段階から、いかに大型化・量産化を実現するかの段階へと移行しています。
私たちは、長年培ってきた大型真空装置と真空搬送技術を活かして、研究用基板からメートル級の大型基板まで対応可能なオーダーメイドの成膜装置をご提案します。
蒸着とスパッタの複合プロセスにも対応し、有機材料の連続成膜を実現することで、お客様の量産化に向けた課題を解決します。
特長
特長①：R&Dから量産まで。メートル級大型基板対応の拡張性
インライン 式やクラスター式などの基本コンセプトをベースに、お客様の成膜プロセスに合わせた柔軟なカスタマイズ設計に対応いたします。研究開発用途の小型サイズから、量産を見据えたメートル級の大型基板・シートへの連続搬送成膜まで丁寧にサポートします。
特長②：蒸着＋スパッタの「複合プロセス」と「低ダメージ成膜」
熱やプラズマに弱い有機層・ペロブスカイト層への成膜ダメージを最小限に抑えるため、低ダメージスパッタカソードを搭載できます。
特長③：ダウンタイムを極小化する「安定稼働」と「低コスト生産」
量産において重要な「稼働率」を最大化します。成膜源は1～2週間の連続稼働が可能な設計となっており、メンテナンスによるダウンタイムを極小化します。また、スパッタリングターゲットの利用効率を高めることで、高価な材料を無駄なく安価に成膜し、ランニングコストの削減に貢献します。
特長④：大気暴露を防ぐ「窒素雰囲気ロード/アンロード機構」
次世代太陽電池や有機デバイスの製造では、大気中の水分や酸素が製品劣化の大きな要因となります。本装置は窒素雰囲気下でのロード/アンロード機構を備えており、大気暴露を防止することで製品の劣化を抑制します。
スペック・技術要素
| 装置構成 | バッチ式、インライン式、クラスター式 | |||
|---|---|---|---|---|
| 対応基板 | 研究開発用小型基板～メートル級大型基板 | |||
| 成膜手法 | 蒸着(抵抗加熱、Kセル、多点同時蒸着)、スパッタ(DC,DCパルス、RF) | |||
| キーテクノロジー | 低ダメージスパッタリング、高効率ターゲット使用 | |||
| 搬送・環境 | 窒素雰囲気L/UL、大気側搬送機構 | |||
※上記構成は、お客様の要求に応じて詳細および仕様は変更可能。
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