メタル膜＋プラズマ重合装置

縦型真空槽の採用により、横型に比べ省スペース。しかも、ごみなどの対策も完備。

3槽式光学用真空蒸着装置

Windows NTバージョンのヒューマンインターフェイス「SEVEN」による全自動蒸着システム。

真空搬送ロボット

重量物や壊れやすいワークの搬送、および搬送の自動化に、多くの真空搬送ロボットが活躍。

全自動蒸着制御システム「SEVEN」

表計算ソフトの操作感覚で、蒸着条件の編集が可能。多彩な蒸着制御方法が可能。

大型真空ゲート弁

インライン型真空槽間の仕切り・大気と真空槽との仕切り用。シール材の交換なしで、約80万回の開閉動作が可能。

バッチ式光学多層膜用真空蒸着装置

Windows NTバージョンのヒューマンインターフェイス「SEVEN」による全自動蒸着システム。

真空排気用超低温冷却装置「NeoCold^®」RCTシリーズ

オゾン破壊係数が"0"の冷媒のみを使用した国内初の超低温冷却装置。

光学式膜厚計　FMP2000シリーズ

当社の全自動蒸着制御システム「SEVEN」と組み合わせることで、より高精度な蒸着制御が可能。