「重合+スパッタ装置」や「重合+蒸着装置」等、自動車ランプの反射膜、保護膜形成に活躍する新明和の真空装置は、単槽バッチ式からサークル式、インライン多槽式まで、お客さまの生産形態に合わせて最適なシステムをお選びいただけます。

バッチ式蒸着+プラズマ重合装置

大規模、大型基板生産に対応。

バッチ式スパッタ+プラズマ重合装置

バッチ型で中規模生産に対応。デュアルカソードにより、高速スパッタ・高速重合を実現。

5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム

縦型インライン連続槽に専用コンベアラインを組み合わせた高速スパッタ機。