真空排気用超低温冷却装置「NeoCold®」RCTシリーズ
オゾン破壊係数が"0"の冷媒のみを使用した国内初の超低温冷却装置
特長
- オゾン破壊係数"0"の冷媒のみ使用した国内初の超低温冷却装置
- クライオコイル冷却装置として使用することにより、チャンバ内の水蒸気を捕捉し、真空排気速度を向上
主な用途
- 真空環境の真空度向上
- 真空環境の真空排気速度向上
- 水分除去による真空環境の改善
- 拡散ポンプのオイルバック低減
主な仕様
| RCT 762S | RCT 762SY | RCT 762SZ | ||
|---|---|---|---|---|
| 標準コイルサイズ(mm) (表面積) |
φ15.88 × t1.0 × 40,000 (約20,000cm2) |
|||
| 電源 (最大消費電力) |
3相200V 50/60Hz (8.2kW) |
3相220V 60Hz (8.2kW) |
3相380V 50Hz (7.6kW) |
|
| 推奨 ブレーカサイズ(A) |
30 | 20 | ||
| 運転音(dB)※1 | 通常運転時:70以下 起動時:74以下 | 66以下 | ||
| 冷却水量 （リットル/min） |
水温15℃ | 5 | ||
| 水温25℃ | 14 | |||
| 水温30℃ | 15 | |||
| 使用冷媒 | HFC系混合冷媒 | |||
| 装置質量(kg) | 460 | 470 | ||
- ※1運転音レベルの測定は、本体より距離1m、高さ1.5mの位置で測定しています。
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