技術情報
技術発表の紹介
当社が発行している「新明和技報」から真空システム製品に関する内容を抜粋しています。
新明和技報
2007年4月発行 「新明和技報 No.29」
論文：大容量超低温冷却装置の開発（P.2～）
2006年4月発行「新明和技報 No.28」
トピックス：自動開閉扉式蒸着重合装置の開発（P.32）
その他バックナンバー
プラズマ重合プロセス成膜装置の開発（1997）
超低温冷却システムの開発（1991発表）
光学多層膜用大形連続真空蒸着システムの開発（1989発表）
-150℃超低温冷却システムの開発
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