技術情報
技術発表の紹介
当社が発行している「新明和技報」から真空システム製品に関する内容を抜粋しています。
新明和技報
2007年4月発行 「新明和技報 No.29」
論文:大容量超低温冷却装置の開発(P.2~)
2006年4月発行「新明和技報 No.28」
トピックス:自動開閉扉式蒸着重合装置の開発(P.32)
その他バックナンバー
プラズマ重合プロセス成膜装置の開発(1997)
超低温冷却システムの開発(1991発表)
光学多層膜用大形連続真空蒸着システムの開発(1989発表)
-150℃超低温冷却システムの開発