技術情報

複合成膜システム

真空技術とロボット技術の融合。
複合成膜システム“マルチチャンバシステム”を例に、 当社の開発した成膜システムと各コンポーネントをご紹介します。

機能・仕様

技術の融合

技術の融合

「真空技術」と「ロボット技術」の融合経緯を年代別に解説。

マルチチャンバシステムの概要

マルチチャンバシステムの概要

マルチチャンバシステムの概要。

メインコンポーネント

メインコンポーネント

マルチチャンバシステムを構成する主なコンポーネント。

制御ブロック図

制御ブロック図

全自動蒸着制御システム「SEVEN」の制御ブロック図。

取り組み事例

取り組み事例

共同開発企業や、技術提携企業との取り組み。