技術情報
複合成膜システム
真空技術とロボット技術の融合。
複合成膜システム“マルチチャンバシステム”を例に、 当社の開発した成膜システムと各コンポーネントをご紹介します。
機能・仕様

技術の融合
「真空技術」と「ロボット技術」の融合経緯を年代別に解説。

マルチチャンバシステムの概要
マルチチャンバシステムの概要。

メインコンポーネント
マルチチャンバシステムを構成する主なコンポーネント。

制御ブロック図
全自動蒸着制御システム「SEVEN」の制御ブロック図。

取り組み事例
共同開発企業や、技術提携企業との取り組み。