納入実績

現在までの複合成膜システム納入実績をご紹介します。

納入までのフロー

当社製品の企画から納入、生産稼動に至るまでの流れをご紹介します。

複合成膜システム

当社が手掛けたロボット技術と真空技術の融合体複合成膜システム“マルチチャンバシステム”をご紹介します。

代表的な真空システムとコンポーネント

当社がご提供する各システムを構成するコンポーネントの数々をご紹介します。

オゾン層とフロン規制の話

オゾン層とフロンの関係と、環境保護への取り組みをご紹介します。

技術発表の紹介

真空システム製品の開発事例をご紹介します。