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プラズマイオン窒化装置

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技術情報

プラズマイオン窒化装置とは

プラズマ(イオン)窒化はプラズマにより生成された窒素イオンを用いる窒化技術です。
窒化とは表面に窒素イオンを衝突(侵入)させ、対象表面に窒素系の金属間化合物を生成します。
表面に窒素系化合物が生成されたことにより、表面硬度の上昇および耐摩耗性の向上へと繋がります。

プラズマイオン窒化装置

プラズマイオン窒化装置

原理

真空チャンバー内に窒素ガスを導入、グロー放電を発生させることで窒素イオンを生成します。
発生した窒素イオンはバイアスによって引き込まれ、窒化対象物に衝突および侵入します。
窒化対象物の最表面では窒素系の金属間化合物が生成されます。

得られる効果とは

  • 基材表面の硬度上昇および耐摩耗性の向上
  • 金型材料への応用により長寿命化を実現

装置仕様

装置仕様
サイズ W 2,200mm
D 2,100mm
H 2,650mm
質量 約2,600kg
使用ガス Ar, N2
処理温度 <500℃
プラズマ源 1基

応用例

ビッカース硬度測定(断面)

高速度工具鋼への窒化処理後の断面図(左)と表面からの硬度変化(右)を示す。
表面から深さ方向へビッカース硬度計を用いて、数点を測定。
対象材料や処理条件によって、表面硬度の程度は変化します。

ビッカース硬度測定(断面)

カタログダウンロード

プラズマイオン窒化装置カタログ[PDF/1.9MB]

製品に関するお問い合わせ

新明和工業株式会社産機システム事業部PB部

TEL : (0798)-54-1880

FAX : (0798)-54-1805

兵庫県宝塚市新明和町1-1