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プラズマ(イオン)窒化はプラズマにより生成された窒素イオンを用いる窒化技術です。
窒化とは表面に窒素イオンを衝突(侵入)させ、対象表面に窒素系の金属間化合物を生成します。
表面に窒素系化合物が生成されたことにより、表面硬度の上昇および耐摩耗性の向上へと繋がります。

真空チャンバー内に窒素ガスを導入、アーク放電を発生させることで窒素イオンを生成します。
発生した窒素イオンはバイアスによって引き込まれ、窒化対象物に衝突および侵入します。
窒化対象物の最表面では窒素系の金属間化合物が生成されます。

• 基材表面の硬度上昇および耐摩耗性の向上
• 金型材料への応用により長寿命化を実現

高速度工具鋼への窒化処理後の断面図(左)と表面からの硬度変化(右)を示す。
表面から深さ方向へビッカース硬度計を用いて、数点を測定。
対象材料や処理条件によって、表面硬度の程度は変化します。

プラズマイオン窒化装置カタログ[PDF/613KB]