製品紹介

イオンエッチング装置

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技術情報

イオンエッチング装置とは

イオンエッチングとはイオン化された原子を対象物に衝突させ、物理的に削る昔からある技術の一つです。
当社では独自のイオンエッチング技術を用いて、切削工具や金型、各種部品向けに除膜装置を開発しました。
除膜とは基材上のコーティングを剥がすことを指し、除膜することにより、基材の再利用が可能になります。

イオンエッチング装置

イオンエッチング装置 "IE600"

除膜には化学薬品を用いる手法もありますが、除膜する膜種により薬液が異なることや基材へダメージを与えるなどの問題があります。
超硬合金基材に使用する場合、成分であるコバルト(Co)を薬品が溶かし出し、表面を荒すことから再利用が困難とされていました。

当社のイオンエッチング装置は、化学薬品に代わる新たな除膜方法として有効です。
化学薬品を使用しないドライな環境下での処理により、コバルト(Co)溶出がなく、基材表面へのダメージは最小限に抑えられます。
用途は「除膜」だけでなく、「微細バリの除去」や「先端形状の修正(先鋭化)」へも可能です。

イオンエッチング装置

イオンエッチング装置

得られる効果

除膜により基材を再利用できることで、基材費用及び加工費など、コストを削減することができます。
成膜装置を所有するお客様の場合、バッチ不良時のリカバリとしてご使用いただけます。
化学薬品を使用しないため、廃液処理などが必要なく、クリーンな環境を提供いたします。

当社装置について

2016年から新たに、小型のイオンエッチング装置を開発、ラインアップを拡充しました。
小型化し、多品種少量向けに小回りの利く利便性を追求したシリーズとなっております。
標準機であるIEシリーズは工具直径12mmを基準に最大積載本数は36本となります。
一方、新たに加わるcIEシリーズは同基準で最大12本の積載本数となっております。
お客様の要望や対象物、生産性を考慮し、最適な装置をご提案させていただきます。

装置仕様&対象膜種

装置仕様
シリーズ IEシリーズ cIEシリーズ
サイズ W 2,300mm W 900mm
D 1,400mm D 1,200mm
H 2,350mm H 1,700mm
質量 約1,600kg 約700kg
使用ガス Ar, O2 Ar, O2
イオンガン 4, 6, 8基 3, 5基
最大消費電力 19-31kVA 9-12kVA
除膜対象(コーティング)
炭素系 ダイヤモンド(PCD), DLC
窒化物系 TiN, TiAlN, AlN, AlCrN, TiCrN, CrN etc.
金属系 Si, Cr etc.

応用例

超硬基材上のコーティング工具

  • 超硬素材にダメージを与えることなく、コーティングの除膜が可能です。
  • 除膜後も形状や鋭利な刃先を維持できます。
  • 超硬基材以外の材料にも応用が可能です。
イオンエッチング装置処理例

参考処理時間: 2.5時間(真空排気時間含まず)
基材: 超硬合金
膜種: AlCrN (2-3μm)

鋭利なエッジ形状を維持!
超硬製品の再生に貢献。

カタログダウンロード

イオンエッチング装置カタログ[PDF/2.7MB]

製品に関するお問い合わせ

新明和工業株式会社産機システム事業部PB部

TEL : (0798)-54-1880

FAX : (0798)-54-1805

兵庫県宝塚市新明和町1-1