ダイヤモンドコーティング装置

装置販売 / 受託開発

技術情報

ダイヤモンドコーティングとは

ダイヤモンドは、現存する物質で最も硬い材料として、機械的、電気的、化学的、熱伝導特性において非常に優れた物質です。この優れた特性のコーティングが活用できれば、様々な分野で応用が可能であり、研究開発が進められております。
ダイヤモンドを合成する方法として、高温高圧法、熱フィラメントCVD法、マイクロ波プラズマCVD法などがあり、切削工具、金型、人工宝飾、電解電極、半導体デバイス、放熱基板、量子センサなど、今後も様々な応用が期待されています。

ダイヤモンドコーティング装置について

熱フィラメントCVD法を採用し、φ300ウエハなど大面積にダイヤモンドを合成することが可能です。
超硬切削工具へのコーティングなど量産品への適用も可能です。
独自技術により密着性を最適化し、超硬素材だけでなくセラミックス、耐熱金属など様々な材質にもコーティング可能です。
導電性ダイヤモンド被膜形成にも対応しております。
装置販売および受託開発もお請けいたします。
当社イオンエッチング技術を生かし、除膜～再成膜といったリサイクル提案も可能です。

アプリケーション

切削工具　：超硬加工、CFRP加工、グラファイト加工、アルミ合金加工
金型　　　：DLC以上の長寿命化
シール部品：メカニカルシール摺動面（SiC、超硬）の耐久性向上
電解電極　：CO₂還元、オゾン水生成など
放熱基板（ヒートスプレッダ）
- ※新規用途開発についてご相談ください。

装置仕様

	SDC300	SDC100 New!
方式	熱フィラメントCVD
装置寸法（mm）	L2,480×W1,320×H2,240	L950×W2,300×H1,830
チャンバ寸法（mm）	L620×W600×H500	Lφ440×H470
搭載可能サイズ（mm）	工具：φ0.5 - φ20 L200 平板：φ300 t30	ロッド形状：φ0.5 - φ20 L100 平板：L100×W150×H30
基板材質	超硬（WC-Co）、シリコン（Si）、セラミックス（SiC）、耐熱金属（Nb）など
コーティング長（mm）	50	10
電源	3相 200V 50kVA A種接地	3相 200V 20kVA A種接地
冷却水	25L/min
ガス系統	CH4、H2、N2他ポート追加可能
装置質量	2,000kg	1,200kg

小型専用機SDC100は、金型などの特殊形状に即した改造も対応可能です。

※ダイヤモンド成膜時の温度は、800-900℃になります。
そのため、成膜可能な基材は耐熱性のあるものに限定されます。
超硬素材に成膜する場合、脱コバルトの前処理が必要です。
結晶サイズは、アプリケーションごとに、微粒～中粒サイズに対応致します。
お客様の要望や対象物、生産性を考慮し、最適な装置をご提案させていただきます。

ダイヤモンド成膜後の研磨技術の提案もしております。

マイクロ波プラズマCVD装置もご提案可能です。

大亜真空株式会社（当社グループ）