エアスピンドルユニット

SPM28(クラッシュプルーフ付)

従来のSPM27Hにクラッシュ防止機能「クラッシュプルーフ」を搭載。

従来比エアベアリングの高剛性化を図りました。
ディスク検査装置等におけるディスクの精密回転用エアスピンドル。

エアスピンドル[SPM28型]

特長

  • クラッシュプルーフ対応
  • 小型・軽量・高速化を実現
  • クリーン度はクラス10(0.1μm)に対応
  • 軸受中央に真空吸着機構付き
    ディスクなどワークを取付け可能

主要寸法図

(単位:mm)

エアスピンドル [SPM28型] 主要寸法図

仕様

型式 SPM28
使用給気圧力 0.4MPa(G)
最高回転速度 20,000r/min
回転速度変動※1 0.001%以下
(エンコーダZ相ジッタ)
非繰返し回転振れ精度
(NRRO)
ラジアル 0.005μm以下
アキシアル 0.005μm以下
繰返し回転振れ精度
(TIR)
ラジアル 2μm以下
アキシアル 1μm以下
剛性 ラジアル 9.5N/μm以上
アキシアル 33N/μm以上
負荷容量 ラジアル 30N以上
アキシアル 100N以上
消費空気流量 6Nl/min以下
モータ容量 50W(15,000r/min時)
クリーン度 クラス10(0.1μm)
アンバランス量 0.05gmm以下
質量 2.0kg
  • 当社ノンスイッチングドライバNS20-Aとの組合せによる性能

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新たな駆動系アプリケーションに、新明和の「BUILT-IN DDシリーズ」を、ぜひご検討ください。