SPM27H
ディスク検査装置等におけるディスクの精密回転用エアスピンドル
![エアスピンドル[SPM27H型]](/products/dd-motor/introduction/spindle/img/spm27h_im01.gif)
特長
- 小型・軽量・高速化を実現
- クリーン度はクラス10（0.1μm）に対応
- 軸受中央に真空吸着機構付き
ディスクなどワークを取付け可能
主要寸法図
![エアスピンドル [SPM27H型] 主要寸法図](/products/dd-motor/introduction/spindle/img/spm27h_im02.gif)
仕様
| 型式 | SPM27H | |
|---|---|---|
| 使用給気圧力 | 0.4MPa（G） | |
| 最高回転速度 | 20,000r/min | |
| 回転速度変動※1 | 0.001％以下 （エンコーダZ相ジッタ） |
|
| 非繰返し回転振れ精度 （NRRO） |
ラジアル | 0.01μm以下 |
| アキシアル | 0.01μm以下 | |
| 繰返し回転振れ精度 （TIR） |
ラジアル | 2μm以下 |
| アキシアル | 1μm以下 | |
| 剛性 | ラジアル | 7N/μm以上 |
| アキシアル | 30N/μm以上 | |
| 負荷容量 | ラジアル | 26N以上 |
| アキシアル | 90N以上 | |
| 消費空気流量 | 10Nl/min以下 | |
| モータ容量 | 65W （20,000r/min時） |
|
| クリーン度 | クラス10（0.1μm） | |
| アンバランス量 | 0.05gmm以下 | |
| 質量 | 2.0kg | |
- ※1当社ノンスイッチング ドライバNS20-Aとの組合せによる性能
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