特長
- 小型・軽量・高速化を実現
- クリーン度はクラス10(0.1μm)に対応
- 軸受中央に真空吸着機構付き
ディスクなどワークを取付け可能
主要寸法図
SPM27H型(単位:mm)
![エアスピンドル [SPM27H型] 主要寸法図](images/spm27h_sunpo.gif)
仕様
型式 | SPM27H | |
---|---|---|
使用給気圧力 | 0.4MPa(G) | |
最高回転速度 | 20,000r/min | |
回転速度変動※1 | 0.001%以下 (エンコーダZ相ジッタ) |
|
非繰返し回転振れ精度 (NRRO) |
ラジアル | 0.01μm以下 |
アキシアル | 0.01μm以下 | |
繰返し回転振れ精度 (TIR) |
ラジアル | 2μm以下 |
アキシアル | 1μm以下 | |
剛性 | ラジアル | 7N/μm以上 |
アキシアル | 30N/μm以上 | |
負荷容量 | ラジアル | 26N以上 |
アキシアル | 90N以上 | |
消費空気流量 | 10Nl/min以下 | |
モータ容量 | 65W (20,000r/min時) |
|
クリーン度 | クラス10(0.1μm) | |
アンバランス量 | 0.05gmm以下 | |
質量 | 2.0kg |
- 当社ノンスイッチング ドライバNS20-Aとの組合せによる性能
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新たな駆動系アプリケーションに、新明和の「BUILT-IN DDシリーズ」を、ぜひご検討ください。
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