エアスピンドルユニット

SPM27H

ディスク検査装置等におけるディスクの精密回転用エアスピンドル

エアスピンドル[SPM27H型]

特長

  • 小型・軽量・高速化を実現
  • クリーン度はクラス10(0.1μm)に対応
  • 軸受中央に真空吸着機構付き
    ディスクなどワークを取付け可能

主要寸法図

SPM27H型(単位:mm)

エアスピンドル [SPM27H型] 主要寸法図

仕様

型式 SPM27H
使用給気圧力 0.4MPa(G)
最高回転速度 20,000r/min
回転速度変動※1 0.001%以下
(エンコーダZ相ジッタ)
非繰返し回転振れ精度
(NRRO)
ラジアル 0.01μm以下
アキシアル 0.01μm以下
繰返し回転振れ精度
(TIR)
ラジアル 2μm以下
アキシアル 1μm以下
剛性 ラジアル 7N/μm以上
アキシアル 30N/μm以上
負荷容量 ラジアル 26N以上
アキシアル 90N以上
消費空気流量 10Nl/min以下
モータ容量 65W
(20,000r/min時)
クリーン度 クラス10(0.1μm)
アンバランス量 0.05gmm以下
質量 2.0kg
  • 当社ノンスイッチング ドライバNS20-Aとの組合せによる性能

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新たな駆動系アプリケーションに、新明和の「BUILT-IN DDシリーズ」を、ぜひご検討ください。