複合成膜システム

制御ブロック図

マルチチャンバシステムの制御ブロック図

マルチチャンバシステムの制御ブロック図

全自動蒸着制御システム「SEVEN」

新明和の光学膜用真空成膜装置に搭載されている、P/Cによる全自動蒸着制御システム「SEVEN」は、長年蓄積した真空成膜技術とお客様の声を反映した使い易いソフトウェアを満載。
対話形式による簡単・確実なレシピ入力を、きめ細かい条件設定により蒸着装置を全自動でコントロールし、ますます高度化する膜質への追求に応えます。また、見易いグラフィック表示で蒸着状況をモニターでき、成膜結果もグラフ表示。ロギング機能も豊富です。