複合成膜システム

マルチチャンバシステムの概要

大型複合真空システム “マルチチャンバシステム”

槽構成もレイアウトも自由自在。
お客さまの生産工程に合わせたオーダーメードシステムを構築します。

最大3,000mm角の大型チャンバへ真空搬送ロボット、ゲート弁、周辺装置などを組み合わせたオーダーメード型複合システムが、光学、半導体、液晶ほか、ハイテク技術を支える各種薄膜形成に貢献しています。

マルチチャンバシステム システム構成例の図

マルチチャンバシステム システム構成の一例(成膜層2槽+ロードロック層)

特長

  • 成膜槽と入口槽、出口槽の任意な組み合わせにより、 対象物や生産量に合わせた自由なシステム構成が可能
  • チャンバサイズは最大3,000mm角×3,500mmH程度まで可能
  • 大型ワークや大ロット生産にもラクラク対応
  • チャンバ間のワーク搬送には、ゲート弁、 大型真空搬送ロボットをはじめ各種ハンドリング装置を自在にアレンジ
  • 高効率な全自動システムを実現

マルチチャンバシステムのコンポーネント

マルチチャンバシステムを構成するコンポーネント。
新明和が多岐にわたり培い、蓄積された技術が生きています。

マルチチャンバシステム構成の一例(成膜層3槽+ロードロック層)