複合成膜システム

技術の融合

真空技術とロボット技術の融合経緯(技術導入・開発)

年代 真空技術 ロボット技術
1960年代 航空機製造技術をベースとしたアルミ、ステンレス等の製缶溶接製品 米国バサートラン社からの油圧ロボットの技術導入(国内最初)
1970年代 繊維 : 真空熱処理装置
薬品 : 真空加熱滅菌装置
溶接用ロボット開発
1980年代 超大型真空冷凍乾燥プラント
大阪大学 核融合超高真空装置
建設機械用大型溶接ロボットシステム
エッチング装置OEM生産 CO2レーザ3次元加工機
ローラ搬送式マルチ大型真空システム(ツインコータ) クリーンルーム用組立ロボットシステム
1990年代 ハードディスク用インラインスパッタ装置 AGV搭載用6軸クリーンロボット
液晶用ガラス基板搬送ロボット
2000年代 100GHz NBPF成膜装置
各種ゲート弁
大型真空搬送ロボットの開発

マルチチャンバシステム

ローラ搬送式マルチ大型真空システム(ツインコータ)

ローラ搬送式マルチ大型真空システム

蒸着槽の前後に加熱・冷却を兼ねた入口槽・出口槽を設け、ここで“大気→真空、真空→大気”の工程を行います。 蒸着槽は常に真空に保たれるため、蒸着環境が安定し、膜品質の向上、歩留まりの向上に有効で、生産性が格段に良くなります。 真空中の搬送技術、真空ゲート弁、電子銃引き出し装置、システム制御などに多くの納入実績を持つ、新明和の総合技術が生きています。

クロスラインツインコータは、それぞれ別にアプローチできる蒸着槽が2つあるため、生産性に加え汎用性も高くなっています。 より専門的な用途にはインライン型を用意することで、搬送装置の複雑化と分配槽の増加を避け、生産性と経済性を追求しています。 また、多層膜で蒸着時間の著しく長いものについては、蒸着槽を2つ並べて蒸着時間を分割し、タクトタイムの短縮を図ることができます。 それぞれの目的に応じて機種が選択できます。

  • 各真空槽で工程を分担するため、生産性の高いシステム構築が可能
  • 蒸着槽を真空に保ったまま、蒸着物質の補充、蒸着源の整備、シャッタの交換、モニタガラスの補充・交換が可能
  • 蒸着槽が著しく少なくなるため、電子銃引き出し装置との併用により蒸着槽の清掃間隔は24時間連続運転時でも、約2週間という長期間を実現

AGV搭載用6軸クリーンロボット

AGV搭載用6軸クリーンロボット

新明和マルチチャンバシステムでは、重量物や壊れやすいワークの搬送や搬送の自動化により、多くの真空搬送ロボットが活躍しています。 これらのロボットは、溶接ロボットやレーザー切断ロボット、半導体用クリーン搬送ロボットでの豊富な経験によって培われた、 機械系、ソフトウェア、サーボコントロール、耐ノイズ性向上などの高度なメカトロ技術が余すところ無く生かされており、 高性能と高信頼性を実現しています。