コンポーネントおよびオプション機器

真空成膜装置用オプション機器

新明和真空成膜装置には、お客様の生産効率と品質を高めるための各種オプション機器をご用意しております。その一部をご紹介します。

基板回転機構

基板回転機構

特長

  • 耐荷重が大きく、耐久性、メンテナンス性に優れています
  • 回転駆動部が大気中にあるので、ダストの発生が少なくなります
  • リングギア駆動方式に比べ、ドーム径が大きく、回転がスムーズです
  • チャンバ内の駆動部分が少ないので、クリーニングが容易です
  • 3~30rpmの滑らかな高速回転が可能で、良好な膜厚分布が得られます

基板回転冶具着脱リフター

基板回転治具着脱リフター

特長

  • 基板回転冶具や基板ヒータのドーム着脱を容易にします

光学式膜厚計 FMP2000シリーズ

光学式膜厚計 FMP2000シリーズ

特長

測定可能波長

UV(紫外)~NIR(近赤外)

その他特長

  • 当社の全自動蒸着制御システム「SEVEN」と組み合わせることで、より高精度な蒸着制御が可能
  • 信号の伝送は、ノイズフリーの光ファイバを採用
  • 紫外域から可視域までの任意の波長の光量を高精度に測定可能

電子銃引き出し装置

電子銃引き出し装置

特長

  • 蒸着槽の真空を保ったまま、電子銃蒸着源・シャッタ周りのメンテナンスを可能にし、高品質な連続生産を実現
  • 電子銃フィラメントや、周辺のダストダメージにも、システムダウンすることなく対応
  • 蒸着装置本体との一体制御により、動作時の各種インターロック機構を装備
  • 大型連続式蒸着装置で、15年間もの稼動実績を誇るメカニズムは、信頼性が抜群
  • プロセス、材料のバリエーションや、システム全体のクリーニングサイクルなど、お客様のご要望に応じた最適なシステムをご提案(電子銃のハース数、引き出し方向、取付位置とレイアウトなどの条件をお知らせください)

モニタガラスチェンジャ

モニタガラスチェンジャ

特長

  • モニタガラスは60枚まで装着可能、使用済ガラスはカートリッジに収容されます
  • オプションで100枚まで装着可能です
  • モニタガラスを基板と同じ温度に加熱させるため個別にヒータが付いています
  • モニタガラス同士の付着防止機能を採用しています
  • モニタガラスプレートによる基板温度分布への悪影響がありません

全自動蒸着制御システム「SEVEN」

全自動蒸着制御システム「SEVEN」

特長

  • 表計算ソフトの操作感覚で、蒸着条件の編集が可能
  • 多彩な蒸着制御方法が可能
  • わかりやすいイメージ表示やグラフ表示
  • 各種データのファイル保存、グラフ表示機能