コンポーネントおよびオプション機器

大型真空ゲート弁

新明和マルチチャンバシステムを構成する重要なコンポーネントの一つが、ご紹介する大型真空ゲート弁です。当社独自開発によるオリジナル製品です。単体での販売も承ります。

大型真空ゲート弁
大型真空ゲート弁の内部構造

特長

  • シール材の交換なしで、約80万回の開閉動作が可能
  • 回転起動方式、および磁気流体シールの採用により、 ダストの巻き込みやグリス切れによるシール不良を防止
  • リンク駆動によるソフトスタート・ストップを実現
  • 弁の開動作時に、弁板を座面から垂直に引き離した後、開方向に動作する機構を採用しているため、 Oリングの摺動やねじれを防止し、シール性能と寿命を向上

主な用途

  • インライン型真空槽間の仕切り・大気と真空槽との仕切り用

主な仕様

装置寸法
W 1,580 × H 2,256 × D 430mm (参考値)
開口寸法
W 500 × H 300mm ~ W 2,000 × H 800mm (参考値)
面間寸法
145mm(標準値)
耐圧方向
片耐圧(両耐圧型も製作可能)
駆動方式
圧空作動式(エアシリンダ + リンク機構による)