光学薄膜市場向け真空成膜装置

3槽インラインSPDイオンコータ®

VRSP900AD

特長

  • 成膜槽内に突起が少ない独自の搬送機構により槽内がスッキリ、SPD使用時にも安定放電可能
  • 新開発の給材機構を搭載して安定した連続稼動を実現

主な用途

  • 光学部品(樹脂基板を含む)の各種薄膜形成用