3槽式光学用真空蒸着装置

3槽式光学用真空蒸着装置

主な仕様

真空槽 材質:SUS304
ロードロック槽 素材:SUS304
基板治具(ドーム) φ 760mm、φ 950mm、φ 1,100mm、φ 1,400mm
排気系(各槽) 油拡散ポンプまたはクライオポンプ
超低温冷凍機「NeoCold®」(オプション)
基板加熱 シーズヒータ
膜厚モニタ 光学式膜厚計モニタ、水晶発振式膜厚モニタ
蒸発源(2源) 電子銃または抵抗加熱
真空計(各槽) ペニング真空計+ピラニ真空計
電離真空計(オプション)
ガス導入 自動圧力コントローラ(APC)
自動流量コントローラ(MFC)

主な性能

到達圧力 1.3×10-4Pa
排気速度 1.3×10-3Paまで30分
基板加熱 最高300℃、常用300℃、分布±10℃

排気・成膜操作

  • Windows NTバージョンのヒューマンインターフェイス「SEVEN」による全自動蒸着システム