メタル膜+プラズマ重合装置

メタル膜+プラズマ重合装置

仕様

入口・出口室 W 1,250×D 350×H 1,200mm
前処理室 W 1,400×D 350×H 1,200mm
スパッタ室 W 1,400×D 350×H 1,200mm
重合室 W 1,400×D 350×H 1,200mm
ホルダー寸法 W 1,150×D 280×H 1,000mm(ワーク装着時)
設置面積 7,000×16,500mm
積載質量 最大16kg(ワーク、ワーク治具、および治具支柱4式)
前処理機器 静止対向RFグロー放電、垂直設置片面
反射膜成膜機器 静止対向DCスパッタリング、垂直設置サイドスパッタ
保護膜成膜機器 静止対向RFグロー放電、垂直設置片面成膜
排気系 前処理、スパッタ槽 22インチ油拡散ポンプ
重合槽 16インチ油拡散ポンプ
ユーティリティ 電力 3相 200V 330kVA
冷却水 150 L/min
プロセスガス 窒素、アルゴン、酸素

性能

到達圧力 10-4Pa台
排気速度 粗引き槽、リーク槽 13,3Pa(0.1Torr)まで25秒以内
前処理槽、スパッタ槽、重合槽 6.7×10-4Pa(5×10-6Torr)まで2時間以内
基板加熱 常温~60℃(ヒータ温度)
サイクル時間 64秒以上
連続成膜時間 1週間
有効成膜範囲 W 1,060×D 200×H 830mm以内

排気・成膜操作

  • シーケンサを主体としたハードウェアにて構成、操作はタッチパネル

特長

  • 縦型真空槽の採用により、横型に比べ省スペース
  • しかも、ごみなどの対策も完備
  • インライン式なので前処理室を追加しても、タクトは4室と同じ処理が可能
  • タッチパネルによる優れた操作性

用途

  • 自動車用ヘッドランプリフレクタ
  • その他照明器部品