真空成膜装置用オプション機器

全自動蒸着制御システム「SEVEN」

新明和の光学膜用真空成膜装置に搭載されている、P/Cによる全自動蒸着制御システム「SEVEN」は、長年蓄積した真空成膜技術とお客様の声を反映した使い易いソフトウェアを満載。 対話形式による簡単・確実なレシピ入力を、きめ細かい条件設定により蒸着装置を全自動でコントロールし、ますます高度化する膜質への追求に応えます。 また、見易いグラフィック表示で蒸着状況をモニターでき、成膜結果もグラフ表示。ロギング機能も豊富です。

画面一覧

画面サンプル

メインメニュー

結果表示画面

条件編集画面

蒸着処理画面

特長

  • 表計算ソフトの操作感覚で、蒸着条件の編集が可能
  • 多彩な蒸着制御方法が可能
  • わかりやすいイメージ表示やグラフ表示
  • 各種データのファイル保存、グラフ表示機能

主な仕様

蒸着源
電子銃・抵抗加熱など
制御方法
光学・水晶膜厚計など
蒸着アシスト
イオン中・電子ビームプラズマ・イオンプレーティング など
蒸着条件
50種類/ファイル
層数
200
電子銃溶かし込み
20ステップ×50種類
ビームローテーションパターン
16ステップ×10種類
抵抗加熱溶かし込み
30ステップ×50種類
APC制御
8ステップ×50種類
MFC制御
2ステップ×50種類
異常検出機能
光量範囲、レート範囲、圧力範囲チェック など
蒸着結果
テキストファイルに保存(最大1,000バッチ分)
画面解像度
1024×768ドット(XGA)