真空成膜装置用オプション機器

モニタガラスチェンジャ

光学式膜厚モニタのモニタガラスを、基板へ温度影響を与えることなく交換できます。

モニタガラスチェンジャ

特長

  • モニタガラスは60枚まで装着可能、使用済ガラスはカートリッジに収容されます
  • オプションで100枚まで装着可能です
  • モニタガラスを基板と同じ温度に加熱させるため個別にヒータが付いています
  • モニタガラス同士の付着防止機能を採用しています
  • モニタガラスプレートによる基板温度分布への悪影響がありません