真空成膜装置用オプション機器

電子銃引き出し装置

蒸着槽の真空を保ったまま電子銃蒸着源・シャッタ周り・フィラメントのメンテナンスを可能にします。

電子銃引き出し装置

特長

  • 蒸着槽の真空を保ったまま、電子銃蒸着源・シャッタ周りのメンテナンスを可能にし、高品質な連続生産を実現
  • 電子銃フィラメントや、周辺のダストダメージにも、システムダウンすることなく対応
  • 蒸着装置本体との一体制御により、動作時の各種インターロック機構を装備
  • 大型連続式蒸着装置で、15年間もの稼動実績を誇るメカニズムは、信頼性が抜群
  • プロセス、材料のバリエーションや、システム全体のクリーニングサイクルなど、お客様のご要望に応じた最適なシステムをご提案(電子銃のハース数、引き出し方向、取付位置とレイアウトなどの条件をお知らせください)