真空成膜装置用オプション機器

光学式膜厚計 FMP2000シリーズ

光学式膜厚保計 FMP2000シリーズ

特長

測定可能波長

UV(紫外)~NIR(近赤外)

その他特長

  • 当社の全自動蒸着制御システム「SEVEN」と組み合わせることで、より高精度な蒸着制御が可能
  • 信号の伝送は、ノイズフリーの光ファイバを採用
  • 可視域から近赤外域(FMP2000VIS/NIR)、可視域から紫外域(FMP2000UV/VIS)までの任意の波長の光量を高精度に測定可能

仕様

名称 可視域
膜厚計
近赤外域
膜厚計
可視近赤外域
膜厚計
紫外可視域
膜厚計
型式 FMP2000 VIS FMP2000 NIR FMP2000 VIS/NIR FMP2000 UV/VIS
波長範囲 350~1,100nm 900~2,000nm 380~1,700nm 190~800nm
波長確度 ±1nm ±2nm ±1nm
波長再現性 ±5nm ±1nm ±5nm
波長分解能
(半値幅)
3~9nm(最大21nm)
測光方式 反射または透過
分光方式 グレーティング(ツェルニ・ターナー マウント)またはフィルタ方式
光量設定分解能 0.01%
光量設定精度 ±0.05%
光量ドリフト ±0.1% / h ±0.2% / h
光量ノイズ ±0.05% ±0.1%
光源 ハロゲンランプ キセノンランプ
コントローラ機能 光量設定演算処理、平均化処理、設定データメモリ機能
モノクロメータ制御、フィルタチェンジャ機能、アナログ出力
インターフェイス RS232C、CCリンク(入力32点、出力32点)
レコーダ出力 出力:DC 0 ~10 V/FS、拡大:×1 ×2 ×5 ×10
電源 AC100V±10% 、50/60Hz
消費電力 450VA 650VA
動作温度範囲 0~50℃
動作湿度範囲 35~85%(結露なし)
外形
寸法
コントローラ W 480 × D 400 × H 150mm
投光部
電源
W 480 × D 450 × H 200mm W 480 × D 450 × H 250mm