真空成膜装置用オプション機器

基板回転治具着脱リフター

基板回転治具や基板ヒータのドーム着脱を容易にする可搬式リフタ。

基板回転治具着脱リフター

特長

  • 基板回転治具や基板ヒータのドーム着脱を容易にします