コンポーネントおよびオプション機器

真空搬送ロボット

新明和マルチチャンバシステムでは、重量物や壊れやすいワークの搬送、および搬送の自動化に、多くの真空搬送ロボットが活躍しています。これらのロボットは、溶接ロボットやレーザー切断ロボット、半導体用クリーン搬送ロボットでの豊富な経験によって培われた、機械系、ソフトウェア、サーボコントロール、耐ノイズ性向上など高度なメカトロ技術が余すところなく生かされており、高性能と高信頼性を実現しています。単体での設計・製作についてはご相談ください。

真空搬送ロボット
真空搬送ロボットの内部構造

特長

  • 重量物や壊れやすいワークの搬送、あるいは搬送の自動化に最適
  • 各アームの関節部には水冷磁気シールユニットを装備し、さらに遮熱カバーを取り付けることにより、300℃の加熱チャンバ内でも安定作動
  • 半導体用クリーン搬送始め、各種ロボットシステムで培ったサーボコントロール、ソフトウェア、耐ノイズ性能、ティーチング技術など、最新のロボティクス技術を搭載した高機能な搬送ロボットです
  • お客様のご要求に合わせて、サイズ・軸構成など自由自在に設計可能

主な仕様

可搬重量
50~300Kg
X軸,θ軸,Z軸の高精度位置決め
許容真空度
10-4Pa
許容温度
300℃
低振動搬送
0.5G以下(50Hzローパスフィルタを入れてのG測定)