コンポーネントおよびオプション機器

真空排気用超低温冷却装置「NeoCold®」RCTシリーズ

オゾン破壊係数が"0"の冷媒のみを使用した国内初の超低温冷却装置

RCT 762

RCT762

クライオコイル
性能比較

特長

  • オゾン破壊係数"0"の冷媒のみ使用した国内初の超低温冷却装置

オゾン層とフロン規制の話

  • クライオコイル冷却装置として使用することにより、チャンバ内の水蒸気を捕捉し、真空排気速度を向上

主な用途

  • 真空環境の真空度向上
  • 真空環境の真空排気速度向上
  • 水分除去による真空環境の改善
  • 拡散ポンプのオイルバック低減

主な仕様

RCT 762S RCT 762SY RCT 762SZ
標準コイルサイズ(mm)
(表面積)
φ15.88 × t1.0 × 40,000
(約20,000cm2)
電源
(最大消費電力)
3相200V 50/60Hz
(8.2kW)
3相220V 60Hz
(8.2kW)
3相380V 50Hz
(7.6kW)
推奨
ブレーカサイズ(A)
30 20
運転音(dB)※1 通常運転時:70以下 起動時:74以下 66以下
冷却水量
(リットル/min)
水温15℃ 5
水温25℃ 14
水温30℃ 15
使用冷媒 HFC系混合冷媒
装置質量(kg) 460 470
  • 運転音レベルの測定は、本体より距離1m、高さ1.5mの位置で測定しています。