製品紹介

コンポーネントおよびオプション機器

槽構成もレイアウトも自由自在。
お客様の生産工程に合わせたオーダーメードシステムを構築します。

機能・仕様

真空排気用超低温冷却装置「NeoCold®」RCTシリーズ

オゾン破壊係数が"0"の冷媒のみを使用した国内初の超低温冷却装置。

大型真空ゲート弁

高信頼と長寿命。
当社独自開発によるオリジナル製品。

真空搬送ロボット

サーボコントロール、耐ノイズ性向上など高度なメカトロ技術が余すところなく生かされている搬送用ロボット。

真空成膜装置用オプション機器

真空成膜装置用、各オプションをご紹介。