大型複合真空システム

【実施例3】 3槽インラインSPDイオンコータ®

独自のドーム搬送機構により成膜槽内を広く使え、SPD(イオンプレーティング)も可能に

VRD1300LAD

特長

  • 成膜槽内に突起が少ない独自の搬送機構により槽内がスッキリ、 SPD使用時にも安定放電可能
  • 新開発の給材機構を搭載して安定した連続稼動を実現

主な用途

  • 光学部品(樹脂基板を含む)の各種薄膜形成用