大型複合真空システム

【実施例2】 5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム

縦型インライン連続槽に専用コンベアラインを組み合わせた高速スパッタ機

VRX350

特長

  • RFプラズマによる前処理、DCスパッタ、RFプラズマ重合の連続処理を1分タクトで実現
  • 専用循環コンベアを装着し、全自動ラインを構築

主な用途

  • 自動車ランプ他、樹脂成形品への反射膜、保護膜形成