大型複合真空システム

【実施例1】 6槽クロスラインツインコータ

φ1,600mm大型基板ドームを2つの蒸着槽で連続処理する全自動ライン

VRD2100LAD

特長

  • φ1,600mmの大型基板ドームを2室の蒸着槽に独立して収容、高い生産性と汎用性を両立
  • 電子銃引出し装置を装備し、2週間の連続生産に対応

主な用途

  • 光学部品の多品種大量生産