真空搬送ロボット

真空搬送ロボット

特長

可搬重量
50~300Kg
X軸,θ軸,Z軸の高精度位置決め
許容真空度
10-4Pa
許容温度
300℃
低振動搬送
0.5G以下
(50Hzローパスフィルタを入れてのG測定)

大型真空ゲート弁

大型真空ゲート弁

特長

可搬重量
50~300Kg
開口面積
W 500mm×H 300mm
~W 2,000mm×H 800mm
その他特長
  • 高信頼性と長寿命
  • 両耐圧
  • マルチリンクによる均等加圧
  • 容易なメンテナンス
  • 遮熱板併用による耐熱構造
  • ダストフリー

光学式膜厚計 FMP2000シリーズ

光学式膜厚計 FMP2000シリーズ

特長

  • 可視域から近赤外域(FMP2000VIS/NIR)、可視域から紫外域(FMP2000UV/VIS)までの任意の波長の光量を高精度に測定可能
  • 受光器とコントローラの信号伝送に光ファイバを採用、高いノイズ耐量を実現
  • 当社の全自動蒸着制御システム「SEVEN」と組み合わせることで、より高精度な蒸着制御が可能

電子銃引き出し装置

電子銃引き出し装置

特長

  • 蒸着槽の真空を保ったまま、電子銃蒸着源・シャッタ周りのメンテナンスを可能にし、高品質な連続生産を実現
  • 電子銃フィラメントや、周辺のダストダメージにも、システムダウンすることなく対応
  • 蒸着装置本体との一体制御により、動作時の各種インターロック機構を装備
  • 大型連続式蒸着装置で、15年間もの稼動実績を誇るメカニズムは、信頼性が抜群
  • プロセス、材料のバリエーションや、システム全体のクリーニングサイクルなど、お客様のご要望に応じた最適なシステムをご提案(電子銃のハース数、引き出し方向、取付位置とレイアウトなどの条件をお知らせください)

基板回転機構

基板回転機構

特長

  • 耐荷重が大きく、耐久性、メンテナンス性に優れています
  • 回転駆動部が大気中にあるので、ダストの発生が少なくなります
  • リングギア駆動方式に比べ、ドーム径が大きく、回転がスムーズです
  • チャンバ内の起動部分が少ないので、クリーニングが容易です
  • 3~30rpmの滑らかな高速回転が可能で、良好な膜厚分布が得られます