製品紹介

大型複合真空システム

槽構成もレイアウトも自由自在。
最大3,000mm角の大型チャンバと真空搬送ロボット、ゲート弁、周辺装置などを組み合わせたオーダーメード型複合システムが、光学、半導体、液晶ほか、ハイテク技術を支える各種薄膜形成に貢献しています。

6槽クロスラインツインコータ(展示用模型)

6槽クロスラインツインコータ(展示用模型)

構成例・実施例

マルチチャンバシステム モデルプラン

大型複合真空システム「マルチチャンバシステム」構成の一例をご紹介。

6槽クロスライン ツインコータ

φ1,600mm大型基板ドームを2つの蒸着槽で連続処理する全自動ライン。

5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム

縦型インライン連続槽に専用コンベアラインを組み合わせた高速スパッタ機。

3槽インラインSPD イオンコータ

独自のドーム搬送機構により成膜槽内を広く使え、SPD(イオンプレーティング)も可能に。